公开/公告号CN113389706A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-14
原文格式PDF
申请/专利权人 长鑫存储技术有限公司;
申请/专利号CN202110777369.3
发明设计人 陈涛;
申请日2021-07-09
分类号F04B37/14(20060101);F04B39/12(20060101);F04B39/16(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构11438 北京律智知识产权代理有限公司;
代理人李建忠;阚梓瑄
地址 230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
入库时间 2023-06-19 12:35:33
机译: 真空工艺设备和真空工艺设备中冷却工艺对象的方法
机译: 具有截止阀的真空排水系统和在真空排水系统中保持截止阀的方法
机译: 真空设备中的零件材料,真空设备中的零件,真空设备,制造真空设备中零件的材料的方法,真空设备中零件的处理方法以及真空设备中的处理方法