一种复合敏感膜及制备方法、气体传感器及制备方法

摘要

本发明公开了一种复合敏感膜及制备方法、气体传感器及制备方法，将毒气敏感材料分散到溶剂中，然后旋涂到以金属为衬底通过化学气相沉积制备得到的二维材料表面，从而获得一种堆叠结构的复合敏感膜；将复合敏感膜裁剪成合适的尺寸，放到刻蚀液的液面上，以刻蚀复合敏感膜的金属衬底，从而得到自支撑的复合敏感膜；将自支撑的复合敏感膜在去离子水液面上漂洗后，利用浸渍提拉法将其转移到气敏传感器的测量元件表面。复合敏感膜中的二维材料层具有良好的疏水性和机械强度，保证复合敏感膜在液面上的完整性。另外，二维材料层还具有很高的表面能，可以改善复合敏感膜与压电衬底表面的贴附性，增强毒气敏感材料与声表面波器件的耦合作用，从而提高传感器对沙林毒气及其模拟剂的响应灵敏度和响应速度。