公开/公告号CN113381697A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-10
原文格式PDF
申请/专利权人 华南理工大学;人工智能与数字经济广东省实验室(广州);
申请/专利号CN202110528799.1
发明设计人 易翔;
申请日2021-05-14
分类号H03B5/12(20060101);H03B5/24(20060101);
代理机构44295 广州海心联合专利代理事务所(普通合伙);
代理人黄为;冼俊鹏
地址 510640 广东省广州市天河区五山路381号
入库时间 2023-06-19 12:32:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-10
授权
发明专利权授予
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流