一种改进型多晶硅还原炉及其多晶硅还原生产方法

摘要

本发明公开了一种改进型多晶硅还原炉及其多晶硅还原生产方法，包括炉筒、底盘、连通于炉筒底部的底部尾气管路和尾气二次进口管路以及连通于炉筒顶部的顶部尾气管路，且顶部尾气管路的另一端分别通过第一调流阀和第二调流阀连通至尾气二次进口管路和底部尾气管路；其中，根据流量计调控第一调流阀和第二调流阀的开度大小以调节底部尾气管路的尾气流量，且根据温度计调节对所述顶部尾气管路进行冷却的冷却水管流量大小，实现了在还原炉的上部和下部同时出气，保证还原炉内部气体分布均匀，并有效降低还原炉的顶部温度，降低还原炉顶部菜花料，进而有助于提高多晶硅还原炉的生产质量。