一种氧化铌旋转溅射靶材的制备工艺

摘要

本发明提供一种氧化铌旋转溅射靶材的制备工艺，首先制备不锈钢背管，对不锈钢背管采用五氧化二铌粉末进行喷涂，在喷涂时向背管内通入冷水再缓慢加热至90℃，喷涂完成后，以1℃/min速度缓慢降低水温，工件转速同步降低，最后对靶材进行后处理加工。通过采用先通冷水，再缓慢加热至设定温度，大大减少了背管内应力的增加，减少靶材开裂异常，产品质量更加稳定。