阀装置、使用该阀装置的流量控制方法、流体控制装置、半导体制造方法、以及半导体制造装置

摘要

提供一种能够精密地调整流量的阀装置。所述阀装置具有：操作构件(40)，其对隔膜进行操作，并设为能够在使隔膜(20)封闭流路的闭位置(CP)与使隔膜(20)开放流路的开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其承受被供给的驱动流体的压力，使操作构件(40)向开位置(OP)或闭位置(CP)移动；调整用致动器(100)，其利用与被施加的输入信号相应地收缩的被动元件，并且，用于对被定位于开位置(OP)的操作构件(40)的位置进行调整；位置检测机构(85)，其用于检测操作构件(40)相对于阀体(10)的位置；以及原点位置确定部，其利用隔膜(20)与阀座(15)抵接的闭阀状态来确定位置检测机构(85)的原点位置。