平坦度得到改善的薄膜蒸镀用掩膜组装体及其制造方法

摘要

本发明涉及平坦度得到改善的薄膜蒸镀用掩膜组装体及其制造方法，包括：准备步骤，准备四边框形态的框架及薄膜掩膜；冲压步骤，通过以上述框架的4个边中心部为基准使4个角向下方变形的矫正力来塑性变形规定间隔；以及掩膜拉伸接合步骤，拉伸上述掩膜，来使其与受到上述矫正力的框架相接合。据此，在四边框形框架拉伸薄膜掩膜来接合而成的薄膜蒸镀用掩膜组装体，通过提供以框架的4个边中心部为基准使4个角向下方变形的矫正力，可使掩膜应力与框架应力相互抵消。结果，可尽可能提高掩膜拉伸力，并可提高掩膜下垂减少效果，与掩膜拉伸力的增加无关地，可改善掩膜组装体的平坦度。