一种基于MEMS扫描镜的非共轴激光扫描成像系统

摘要

一种基于MEMS扫描镜的非共轴激光扫描成像系统，包括：脉冲光纤激光器、脉冲激光准直器、连续半导体激光器、连续激光准直器、合束镜、45°反射镜、MEMS扫描镜A、MEMS扫描镜A驱动电路、处理单元、MEMS扫描镜B、接收光学系统、分光镜、成像探测器、APD探测器、MEMS扫描镜B驱动电路。在处理单元的精确闭环控制下，MEMS扫描镜A与MEMS扫描镜B之间的角度差值在相邻成像帧之间灵活切换，两者之间的基线间距也可以根据不同需求灵活调整，可以在同一装置中有效扩展激光三角测距的作用距离范围、提高测距精度。本发明具有高测距精度、大作用距离范围、高成像帧率的优点，克服了传统装置无法兼顾多个指标的不足。