公开/公告号CN113302717A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-24
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申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201980088876.7
发明设计人 蒋志钧;G·巴拉苏布拉马尼恩;A·罗伊巴曼;H·湖尻;韩新海;D·帕德希;C·Y·王;陈玥;D·R·本杰明拉吉;N·S·乔拉普尔;V·N·T·恩古耶;M·S·方;J·A·奥拉夫;T·C·林;
申请日2019-10-11
分类号H01L21/02(20060101);H01L21/3205(20060101);H01L21/768(20060101);H01L27/11524(20060101);H01L21/67(20060101);C23C16/455(20060101);H01J37/32(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人侯颖媖;张鑫
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 12:19:35
机译: 减少堆叠缺陷成核点的光刻方法以及具有减少堆叠缺陷成核点的结构
机译: 减少堆叠缺陷成核点的顺序光刻方法和具有减少堆叠缺陷成核点的结构
机译: 减少堆叠缺陷成核点的光刻方法以及具有减少堆叠缺陷成核点的结构