公开/公告号CN113302739A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-24
原文格式PDF
申请/专利权人 美光科技公司;
申请/专利号CN201980089136.5
申请日2019-10-30
分类号H01L27/11582(20060101);H01L27/11573(20060101);H01L27/11575(20060101);H01L29/792(20060101);H01L29/66(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人王龙
地址 美国爱达荷州
入库时间 2023-06-19 12:19:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-31
授权
发明专利权授予
机译: 形成具有堆叠的存储器单元的高度延伸的串的阵列的方法,该堆叠具有在堆叠中包括垂直交替的绝缘层和字线层以及水平延伸的沟槽的堆叠
机译: 存储器单元的高度延伸的串的阵列,其具有包括垂直交替的绝缘层和字线层的堆叠以及堆叠中的水平延伸的沟槽
机译: 在动态随机存取存储器阵列中制造具有I形横截面的堆叠电容器的方法