一种膜厚监控装置、镀膜设备及膜厚监控方法

摘要

本发明提供一种膜厚监控装置、镀膜设备及膜厚监控方法，通过设置多个晶振传感器，利用每个晶振传感器单独检测同一种膜材的实时厚度，使得晶振传感器不会受到不同膜材交替界面导致的不确定性影响，保证了晶振法膜厚监控精度。