穆勒矩阵测量装置及其测量方法

摘要

本发明涉及一种穆勒矩阵的测量装置及其测量方法。穆勒矩阵的测量装置，包括起偏光路、检偏光路和传递光路，传递光路包括分光组件、第一透镜组、小孔光阑和平面反射镜。待检测光学系统放置在传递光路中的小孔光阑和平面反射镜之间，并使得待检测光学系统的焦点与第一透镜组的焦点重合，平面反射镜的口径大于待测光学系统的有效通光口径。穆勒矩阵的测量装置通过增加传递光路来实现对大口径、非平面的复杂光学系统偏振特性的测量。在该测量装置及其测量方法中，采用普通口径的偏振光学元件即可实现大口径复杂光学系统偏振特性的测量。本发明的自准直光路设计确保了光线均正入射到平面反射镜，减小了平面反射镜引入的测量误差，提高了测量精度。