一种热驱动微型气体泵送器件及泵送器件加工方法

摘要

本发明涉及微流控技术领域，公开一种热驱动微型气体泵送器件，包括：泵送本体，泵送本体上刻蚀形成有泵送流道以及位于泵送流道内的热源结构，热源结构包括沿泵送流道的延伸方向等间隔设置的多个加热柱，加热柱呈等腰三角形形状，多个加热柱的中轴线均位于泵送流道的中心线上；压电陶瓷薄膜，覆设于泵送流道的侧壁及加热柱的侧壁，压电陶瓷薄膜的厚度随接入电压的变化而变化；盖板，盖设于泵送本体上并将泵送流道覆盖。本发明提供的热驱动微型气体泵送器件通过设置泵送流道及热源结构，能够在热源结构和泵送流道之间形成稳定的温度场，实现气体的稳定泵送。本发明提供的泵送器件加工方法能便捷快速地加工上述热驱动微型气体泵送器件，经济性好。