公开/公告号CN113252629A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-13
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN202110516864.9
申请日2021-05-12
分类号G01N21/64(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人余永莉
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2023-06-19 12:13:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-03-24
授权
发明专利权授予
机译: 自支撑薄膜传感器,其生产方法及在气体检测和气相色谱中的应用。
机译: 自支撑薄膜传感器,其生产方法及在气体检测和气相色谱中的应用。
机译: 自支撑薄膜传感器及其制造方法及其在气体检测和色谱分析中的应用