一种用于双传感的高Q穿孔柔性微环谐振腔的结构

摘要

本发明公开一种用于双传感的高Q穿孔柔性微环谐振腔的结构，由柔性衬底层、总线波导、微环谐振腔以及穿孔缺陷组成，总线波导与微环型谐振腔集成在柔性衬底上，总线波导与微环型谐振腔之间存在间隙，光从总线波导一端输入并在间隙处通过耦合进入到微环谐振腔；穿孔缺陷位于微环谐振腔正上方；本发明的穿孔微环谐振腔，由于其完美的角对称性被打破，腔体内出现对称驻波模式与非对称驻波模式，这两种驻波模式在腔体内的电磁场能分布有差异，因此可实现对周围环境折射率与压力的双传感应用。利用此结构，可以解决柔性光子器件在生物传感应用中，由于力‑光耦合效应引入非生物因素干扰的问题。