包含嵌段共聚物的用于形成硅质膜的组合物以及使用该组合物制造硅质膜的方法

摘要

提供一种用于形成硅质膜的组合物，其能够填充具有窄的宽度和高纵横比的沟槽并获得较厚的膜。用于形成硅质膜的组合物，包含：(a)嵌段共聚物，其具有含有5个以上硅的聚硅烷骨架的直链和/或环状嵌段A和具有含有20个以上硅的聚硅氮烷骨架的嵌段B，以及(b)溶剂。