基于平面波导型合波器的半导体激光光源模块及制造方法

摘要

本发明涉及一种基于平面波导型合波器的半导体激光光源模块，包括：承托基板，承托基板上设有N个电极；N个半导体激光器，半导体激光器上的裸芯片分别通过引线与对应的电极键合；光波导合波结构，光波导合波结构从上至下依次包括波导层、反射介质层和键合层；波导层上具有波导路线图案，波导路线图案上包括N个入光口和1个出光口，且N个入光口与N个半导体激光器上的裸芯片的出光点一一对应；盖盒。本发明还提供了两种基于平面波导型合波器的半导体激光光源模块的制造方法。本发明提供的基于平面波导型合波器的半导体激光光源模块，通过在晶圆上直接刻蚀的方法制备大口径波导，大大减小激光耦合难度，大大减小器件体积。