一种压电驱动的高精度光学偏转伺服装置及其工作方式

摘要

本发明公开了一种压电驱动的高精度光学偏转伺服装置及其工作方式，光学偏转伺服装置包括内环、中环、外环、以及四个偏转驱动单元；内环、中环、外环由内至外依次设置且圆心重合，外环通过两个偏转驱动单元驱动中环转动，中环通过另外两个偏转驱动单元驱动内环转动；偏转驱动单元包含转轴、膜片弹簧、转子、压电振子和轴承。本发明中的压电振子使用压电陶瓷沿厚度方向的伸缩振动，即d33工作模式，有效提高压电振子的机电耦合系数，实现大力矩输出。本发明具有位移分辨率高、响应快、结构紧凑、断电自锁等优点，在结构简单可靠的同时还可以对内环实现高精度、大行程的二维偏转。