圧電駆動型メタルベース光MEMSミラーデバイスの開発とその応用

摘要

最近，小型·携帯型レーザープロジェクター，超低消費電力型レーザーテレビなどレーザー光走査型ディスプレイの開発が活発化している．レーザー光走査型ディスプレイは，画像表示機器としての色再現性の高さ（広色域）だけではなく消費電力の低減化が期待されている．これらを実現するための鍵となる部品として，レーザー光を高速で走査できる光MEMSミラーデバイス（光スキャナー，スキャニングミラーデバイス）が注目されている1），2）。