一种高精度压电陶瓷驱动电源设计

摘要

压电陶瓷(PZT)作为原子力显微镜(AFM)控制结构中微驱动定位的关键器件,能够用于快速跟踪测量样品表面的形貌变化,而其驱动电源是决定压电陶瓷微驱动性能的核心部分。本文采用线性放大式驱动电源原理,设计了一种以AD8572+PA85A为核心的高精度压电陶瓷驱动电源。主要介绍了驱动电源的工作原理、两级运放的特点和影响运放稳定性的关键因素。实验结果表明设计的驱动电源线性度高、响应速度快、性能稳定,能有效应用于AFM的微驱动定位系统中。