一种确定超导腔最佳氮掺杂工艺的方法

摘要

本发明公开了一种确定超导腔最佳氮掺杂工艺的方法。该方法包括以下步骤：1)对经过氮掺杂处理的铌样片进行不同程度的电抛光；2)对经过不同程度电抛光的氮掺杂样片进行磁性测量；3)对经过不同程度电抛光的氮掺杂样片进行氢化物生成测量；4)确定超导腔的最佳氮掺杂工艺。相比于通过多次低温测试寻找最佳掺杂工艺的传统方法，本发明能够通过简单的样片测试快速、准确确定每台设备的专属最佳氮掺杂工艺，有效节省低温测试费用和时间，非常有助于氮掺杂技术的工程应用推广。