一种MEMS波动陀螺仪

摘要

本发明提供了一种MEMS波动陀螺仪，包括基底；锚点结构；波动结构，包括N个横梁和M个直梁，横梁与M个直梁交错形成M个节点，且横梁被节点划分为M‑1个第一梁单元，直梁与N个横梁交错形成N个节点，且直梁被节点划分为N‑1个第二梁单元，位于波动结构外轮廓上的节点与锚点结构机械耦合；第一面内换能器，与第二梁单元机械场和电场耦合；第一面外换能器，与第二梁单元机械场和电场耦合；其中，N和M分别为不小于2的正整数；MEMS波动陀螺仪可工作在驱动模态和检测模态中，驱动模态包括面内波动模态以及面外波动模态，检测模态包括第一轴检测模态。本发明提供的MEMS波动陀螺仪能够提高灵敏度。