利用低压源形成气体团簇离子束的装置和方法

摘要

一种形成具有多个气体源的气体团簇离子束的方法，包括：提供减压外壳；使用静态泵将低压过程源和高压稀释剂源混合以形成混合源，其中低压过程源到静态泵的输送压力大于约5托而小于约5托高压稀释气体至静态泵的输送压力大于约5巴且小于约30巴。使用混合源产生气体团簇射流，该混合源包括在减压外壳内的多个气体团簇；在减压外壳内提供电离区域；和引导气体团簇射流通过电离区域以使气体团簇射流中的至少一部分气体团簇电离以形成气体团簇离子束。