用于检测动态压力变化的集成光学传感器和方法

摘要

一种用于检测动态压力变化的集成光学传感器(1)包括：微机电系统MEMS管芯(10)，其具有MEMS膜片(11)，该MEMS膜片具有第二侧(13)以及暴露于动态压力变化的第一侧(12)；以及专用集成电路ASIC管芯(20)，其具有光学干涉仪组件。干涉仪组件包括光束分离元件(21)、光束合并元件(22)以及检测器(24)，该光束分离元件用于接收来自光源(23)的源光束(30)并用于将源光束(30)分离成在第一光束路径中的探测光束(31)和在第二光束路径中的参考光束(32)，该光束合并元件用于将探测光束(31)与参考光束(32)合并成叠加光束(33)，并且该检测器配置为根据叠加光束(33)来生成电子干扰信号。相对于ASIC管芯(20)将MEMS管芯(10)布置为使得在膜片的第二侧(12)与ASIC管芯(20)之间形成间隙，其中该间隙限定腔体(14)并具有间隙高度。探测光束(31)的第一光束路径包括：耦合到腔体(14)中、从膜片(11)的偏转点或偏转表面(16)反射出来以及耦合出腔体(14)。