一种用于热脉冲法响应信号校正的全场校正方法

摘要

本发明涉及一种用于热脉冲法响应信号校正的全场校正方法，包括：测量待测样品薄膜的实际热响应电流信号，并转化为频域表达式，然后根据预先获取的系统传递函数，对实际热响应电流信号进行校正；系统传递函数的获取包括：对待测样品薄膜进行金属化处理，然后施加低电场，接着对待测样品薄膜一侧的金属电极击打短激光，测量待测样品薄膜的实测热响应电流信号；根据激光和待测样品薄膜材料参数，计算待测样品薄膜的理想位移电流信号；将实测热响应电流信号和理想位移电流信号分别转化为频域表达式，从而计算系统传递函数。与现有技术相比，本发明能降低系统误差对响应信号的干扰，在此基础上进行数据分析可获得更准确的空间电荷分布信息。