一种主动运输气浮平台

摘要

本发明公开了一种主动运输气浮平台，包括平台框架和单元气浮台，所述单元气浮台包括多个单元主动运输气浮装置和出气道，所述单元主动运输气浮装置包括方向转换器、密封胶以及压电陶瓷片，通过供气实现物体的悬浮，利用压电陶瓷片的逆压电效应，给压电陶瓷片进行供电使其产生形变，进而导致方向转换器进行适当方向的位移，从而调节了出气道的出气压力，使得被悬浮物体实现主动运输的功能。通过在工件与单元气浮台表面形成一层气膜，将工件悬浮于装置上方，从而避免工件再传输过程中与装置表面相接触造成损伤。同时，通过对压电陶瓷片的控制，可以实现工件的X‑Y平面的自由移动与Z轴方向的旋转功能。