一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池生产的氧化方法

摘要

本发明提供一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池生产的氧化方法，包括以下步骤，对待氧化的硅片进行切割，将硅片一分为二，形成半片硅片；采用直插式，将半片硅片进行插片；对半片硅片进行氧化。本发明的有益效果是用于大尺寸硅片进行氧化，将硅片切割成半片硅片，并采用直插式插片，进行硅片氧化，降低改造成本，满足硅片氧化需求。