一种用于残余应力检测的正交差分式柔性电磁传感器

摘要

本发明公开了一种用于残余应力检测的正交差分式柔性电磁传感器，包括多层结构的柔性基底，所述柔性基底的第一指定层上设有激励线圈，所述激励线圈包括一个或多个方波状的重复单元，所述柔性基底的第二指定层设上有与所述重复单元一一对应的检测单元，所述检测单元包括两个正交放置的TMR元件。本发明用TMR元件代替检测线圈作检测单元，直接测量磁场大小而不是测量磁场的变化率，因此在检测材料内部应力时，传感器的灵敏度不会随频率的降低而下降；本发明激励线圈包括一个或多个方波状的重复单元，使得激励线圈的水平部分和竖直部分垂直，水平激励和垂直激励上的TMR信号变化相反，两者作差分时可以消除背景磁场的影响、增大有用信号。