一种低温深孔偏压溅射装置

摘要

本发明低温深孔偏压溅射装置，靶材和腔体之间增设固定腔体适配器，载片台上固定用于放置晶圆的冷却盘，腔体适配器内放置上下遮罩，上遮罩的顶部固定在腔体适配器上，上遮罩下部的壁上沿着圆周方向开设有多个通孔，下遮罩的壁上沿着圆周方向开设有与通孔相对应的长条调节孔，上遮罩的下部套在下遮罩内，通过螺栓穿设对应的长条调节孔和通孔以固定上下遮罩，下遮罩的底部固定底板，底板上开设中心孔，底板上沿着圆周方向开设多个安装孔，每一安装孔的边沿周缘上均放置绝缘陶瓷柱，绝缘陶瓷柱套在固定柱内，固定柱固定于底板上，T型吊杆顶端置于绝缘陶瓷柱顶部，T型吊杆底端与压环固定连接，压环上沿着圆周方向设置有多个可调节压杆。