基于小型化平面电极的电化学角加速度传感器

摘要

一种基于小型化平面电极的电化学角加速度传感器，该电化学角加速度传感器包括环形流道，其内部设有电解质溶液；平面电极，设置在环形流道上；以及电源，与平面电极连接。本发明公开两种基于平面电极的传感器封装方法和利用其的电化学角加速度传感器，不仅解决了电解液密封和电极引线的问题，保证了器件的长期稳定性，且由于采用了小型化的平面电极，使得大规模制造电化学角加速度传感器成为可能。