公开/公告号CN112986705A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海高等研究院;
申请/专利号CN202110168533.0
申请日2021-02-07
分类号G01R29/24(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人邓琪
地址 201210 上海市浦东新区张江高科技园区海科路99号
入库时间 2023-06-19 11:29:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-09-08
授权
发明专利权授予
机译: 电荷量测量方法,带电束的位移值测量方法,电荷量测量装置和带电束的位移值测量装置
机译: 电荷量测量方法,带电束的位移值测量方法,电荷量测量装置和带电束的位移值测量装置
机译: 电荷量测量方法,带电束的位移值测量方法,电荷量测量装置和带电束的位移值测量装置