一种抛光液防溅装置、化学机械抛光系统及抛光方法

摘要

本发明公开了一种抛光液防溅装置、化学机械抛光系统及抛光方法，抛光液防溅装置环绕设置于抛光盘的外周侧，其特征在于，包括第一挡板、第二挡板和第三挡板，所述第一挡板间隔设置于抛光盘的外周侧，所述第二挡板和第三挡板设置于相邻第一挡板之间；所述第一挡板、第二挡板和第三挡板分别配置有升降装置，其独立控制挡板沿竖直方向移动以遮挡溅射的抛光液；所述第一挡板、第二挡板和第三挡板为弧形板，其同心设置且挡板的内侧壁位于同一个同心圆。