公开/公告号CN112941487A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-11
原文格式PDF
申请/专利权人 河北普莱斯曼金刚石科技有限公司;
申请/专利号CN202110171912.5
申请日2021-02-08
分类号C23C16/27(20060101);C23C16/511(20060101);C23C16/52(20060101);
代理机构13108 石家庄冀科专利商标事务所有限公司;
代理人孟玉寒
地址 050081 河北省石家庄市桥西区友谊南大街46号3号楼319室
入库时间 2023-06-19 11:22:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-08-04
授权
发明专利权授予
机译: 一种主要尺寸约为所用微波的一个波长的自立式微波等离子体CVD多晶金刚石薄膜的制造方法
机译: 一种主要尺寸约为所用微波波长的自立式微波等离子体CVD多晶金刚石薄膜的制造方法
机译: 一种主要尺寸约为一个波长的自立式微波等离子体CVD多晶金刚石薄膜的制造方法