一种基于性能指标的半导体生产线动态调度方法

摘要

本发明公开了一种基于性能指标的半导体生产线动态调度方法，所述方法包括：获取半导体生产线的状态参数；将获取到的状态参数，输入预先训练的生产线性能预测模型，预测得到生产线达到最优性能指标时的预测参数；基于获取到的状态参数和预测到的预测参数，采用预先训练的参数学习模型，预测得到动态调度中所需的调度参数；将预测得到的调度参数用于预设的生产线调度策略中指导生产线正确派工进行半导体生产线动态调度。本发明能够提升生产线的整体性能。