基于支持向量机的半导体生产线动态调度方法

摘要

为了快速合理地选择调度策略,研究了一种半导体生产线动态调度策略选择方法.该方法以历史数据为基础,选取支持向量机为数据挖掘工具,采用二进制粒子群优化算法对生产属性(特征)子集进行寻优,获得基于支持向量机的动态调度策略分类模型.对于任意给定的生产状态,通过该模型,能实时地获取当前生产状态下近似最优的调度策略.在调度策略评价中,选用了基于功效函数与熵权法的多目标评价方法,以扩展该方法的应用范围.在某实际硅片生产线上验证了所提动态调度方法的有效性.