一种半导体晶片加工用自动定心防表面氧化的辅助设备

摘要

本发明涉及半导体加工技术领域，且公开了一种半导体晶片加工用自动定心防表面氧化的辅助设备，包括安装座，所述安装座外部活动连接有夹持板，所述夹持板顶部活动连接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧顶部活动连接有支撑杆，所述支撑杆顶部活动连接有转动座，所述转动座顶部固定连接有啮合座，通过晶片震动会带动往复活塞进行往复抽吸空气进入到闭气腔内，从而压缩挤压弹簧带动传动杆运动，传动杆运动则会同时拉动推拉杆一同运动，推拉杆运动带动加压块运动，加压块运动会同时带动加压活塞在储液腔内滑动，使得冷却液喷出，如此便达到了在加工的过程中自动喷洒冷却液辅助打磨的同时防止晶片表面因高温氧化的效果。