一种靶材安装结构、磁控溅射设备及磁控溅射方法

摘要

本发明公开了一种靶材安装结构、磁控溅射设备及其磁控溅射方法，解决了现有的靶材散热差、使用寿命短的技术问题。本发明包括靶材和背板，所述靶材安装在背板的一侧，其特征在于，所述背板内部设置有散热组件，所述散热组件包括冷却水管和射吸组件，所述冷却水管靠近靶材侧，所述射吸组件位于远离所述靶材，所述冷却水管与射吸组件连接。本发明具有散热效果好，靶材寿命长，冷却水不易掉入真空腔等优点。