薄板气浮支承系统弹性稳压装置

摘要

本发明公开了薄板气浮支承系统弹性稳压装置，包括薄板、气浮台，所述气浮台下表面上设置有若干个正压供气口、稳压腔腔体和负压吸气口，所述气浮台上表面上设置有分别贯通正压供气口、稳压腔腔体、负压吸气口的正压供气节流孔、稳压腔节流孔、负压吸气节流孔，所述稳压腔腔体内设置有阻尼器，所述气浮台下表面的稳压腔腔体的腔口处设置有弹性薄膜。本发明薄板气浮支承系统弹性稳压装置，设计巧妙，结构紧凑，能够显著降低弹性薄板的振动，提高薄板气浮支承系统的稳定性，效果明显。