一种多层执行器阵列驱动的变形镜

摘要

一种多层执行器阵列驱动的变形镜，包括镜面、多个位于不同层平面内的执行器阵列、以及连接执行器阵列与镜面的多个连接柱，所述的每层平面内的执行器阵列包括多个固定于带通孔的基座上的单压电片执行器，每个单压电片执行器通过连接柱与镜面连接，位于下层面内的执行器阵列的连接柱穿过上层面内执行器阵列的基座与镜面相连，不同层面内执行器阵列中的单压电片执行器在空间上相互错位，每个所述单压电片执行器包括弹性层和与弹性层相连的两面带电极层的压电片，所述镜面由多个位于不同层平面内的单压电片执行器通过连接柱推动实现变形。本发明变形镜增加了驱动层的层数，提高变形镜的变形量和校正能力。