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陈绍凤; 赵湛; 秦宁; 陈贤祥;
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080;
微针阵列; 信息采集; 药物输送执行器; 生化微系统;
机译:一种表征多晶硅横向驱动热微执行器驱动力的简单方法
机译:电热和横向驱动的多晶硅微执行器的分析和优化
机译:使用Si微弹簧加压气囊储层的低功率,微型阀调节药物输送系统
机译:使用微环谐振器的线性阵列,增强硅纳米泳镜硅光网络的HONG-OU-MENDEL效果
机译:基于微通道和微引脚芯片的硅与硅直接粘接的微通道和微销翅片的实验研究
机译:静电驱动的微液压执行器阵列
机译:大孔径可变形反射镜,带有转移的单晶硅膜,采用大行程pZT单晶片执行器驱动
机译:微产品,医用微产品,微孔阵列芯片,微孔位置检测板和使用微产品的微树脂针尖
机译:电气绝缘的移动部分和具有组合驱动电路的静电型微执行器,尤其考虑到静电型微执行器的功能,即在磁记录磁盘驱动器中的二次读/写执行器
机译:静电微执行器,静电微执行器装置以及静电微执行器的驱动方法
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