公开/公告号CN112786512A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 盛美半导体设备(上海)股份有限公司;
申请/专利号CN201911085484.3
申请日2019-11-08
分类号H01L21/683(20060101);
代理机构31219 上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人余明伟
地址 201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢
入库时间 2023-06-19 10:55:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-11-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/683 专利申请号:2019110854843 申请日:20191108
实质审查的生效
机译: 波形垫圈,包括该波形垫圈的旋转轴支撑装置以及包括该旋转轴支撑装置的电动机
机译: 波形垫圈,具有该波形垫圈的旋转轴支撑装置以及具有该旋转轴支撑装置的电动机
机译: 波形垫圈,包括该波形垫圈的旋转轴支撑装置以及包括该旋转轴支撑装置的电动机