真空抽空速度控制装置

摘要

本发明公开了一种真空抽空速度控制装置，包括与内部填充液体的待抽空部件通过管道组件连接的真空泵，所述管道组件包括与待抽空部件连接的一级管路和与真空泵连接的抽空管路，所述一级管路与抽空管路之间设置至少一条二级管道，所述二级管道内设置抽速控制部件，所述抽速控制部件外壁与二级管道内壁紧密贴合固定，且其中间形成通孔。本发明提供了一种真空抽空速度控制装置，自动控制抽速均匀稳定，提高操作精度；可直接对系统进行抽空，减少人工操作工作量；避免了手动操作失误，降低安全风险；抽速控制部件易于设计加工，且安装或替换操作简单；抽速控制部件结构简单，成本较低。

说明书

技术领域

本发明属于真空系统操作控制领域，具体涉及一种真空抽空速度控制装置。

背景技术

在真空系统中，某些待抽空部件内会装载润滑油等液体类物质，当通过真空泵对系统抽空时，若系统内压强变化过于剧烈，则会导致液体类物质由装载部件溅出到其它部件表面，严重时甚至被抽出系统进入真空泵中，从而降低该液体类物质填装效果或影响其它部件正常工作。因此，在系统抽空过程中，需要控制抽空速度，稳定系统内压强的变化幅值，以保证该液体类物质的装载效果。传统抽空方法是通过手动控制阀门开度来控制抽速，但控制精度低，效果不佳。

发明内容

本发明是为了克服现有技术中存在的缺点而提出的，其目的是提供一种真空抽空速度控制装置。

本发明是通过以下技术方案实现的：

一种真空抽空速度控制装置，包括与内部填充液体的待抽空部件通过管道组件连接的真空泵，所述管道组件包括与待抽空部件连接的一级管路和与真空泵连接的抽空管路，所述一级管路与抽空管路之间设置至少一条二级管道，所述二级管道内设置抽速控制部件，所述抽速控制部件外壁与二级管道内壁紧密贴合固定，且其中间形成通孔。

在上述技术方案中，所述二级管道的数量大于一时，多条二级管道之间并联设置；所述二级管道两端均设置阀门。

在上述技术方案中，所述一级管路与待抽空部件的抽空口处通过法兰连接。

在上述技术方案中，所述二级管道与一级管路或抽空管路之间设置连接盘。

在上述技术方案中，所述连接盘上形成与二级管道数量一致的连接孔，每个连接孔对应连接一条二级管道。

在上述技术方案中，所述抽速控制部件设置于二级管道中点位置。

在上述技术方案中，所述抽速控制部件为气体流量孔板。

在上述技术方案中，所述抽速控制部件与其安装处的二级管道共轴线。

在上述技术方案中，所述通孔与其所在处的二级管道共轴线。

在上述技术方案中，所述通孔的直径的平方

式中：γ为空气绝热指数、M为抽空气体的平均摩尔质量、R为理想气体常数，ΔP为压强每秒变化，P为抽空前系统压强，V为被抽空系统体积， T

本发明的有益效果是：

本发明提供了一种真空抽空速度控制装置，自动控制抽速均匀稳定，提高操作精度；可直接对系统进行抽空，减少人工操作工作量；避免了手动操作失误，降低安全风险；抽速控制部件易于设计加工，且安装或替换操作简单；抽速控制部件结构简单，成本较低。

附图说明

图1是本发明真空抽空速度控制装置的结构示意图；

图2是图1中A部分的放大结构示意图。

其中：

1 待抽空部件 2 液体

3 真空泵 4 一级管路

5 抽空管路 6 二级管道

7 抽速控制部件 8 通孔

9 法兰 10 连接盘

11 阀门。

对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，可以根据以上附图获得其他的相关附图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明技术方案，下面结合说明书附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明真空抽空速度控制装置的技术方案。

实施例1

如图1、2所示，一种真空抽空速度控制装置，包括与内部填充液体2 的待抽空部件1通过管道组件连接的真空泵3，所述管道组件包括与待抽空部件1连接的一级管路4和与真空泵3连接的抽空管路5，所述一级管路4 与抽空管路5之间设置至少一条二级管道6，所述二级管道6内设置抽速控制部件7，所述抽速控制部件7外壁与二级管道6内壁紧密贴合固定，且其中间形成通孔8。

所述二级管道6的数量大于一时，多条二级管道6之间并联设置；所述二级管道6两端均设置阀门11。

所述一级管路4与待抽空部件1的抽空口处通过法兰9连接。

所述二级管道6与一级管路4或抽空管路5之间设置连接盘10。

所述连接盘10上形成与二级管道6数量一致的连接孔，每个连接孔对应连接一条二级管道6。

所述抽速控制部件7设置于二级管道6中点位置。

所述抽速控制部件7为气体流量孔板。

所述抽速控制部件7与其安装处的二级管道6共轴线。

所述通孔8与其所在处的二级管道6共轴线。

所述通孔8的直径的平方

式中：γ为空气绝热指数、M为抽空气体的平均摩尔质量、R为理想气体常数，ΔP为压强每秒变化，P为抽空前系统压强，V为被抽空系统体积， T

以被抽空系统体积V＝1立方米，压强每秒变化不超过ΔP＝3hPa，抽空前系统压强为P＝1bar，系统温度为T

(ⅰ)根据流体力学推导出公式

(ⅱ)加工一套抽速控制装置，且流速控制部件通孔直径不大于4.5mm；

(ⅲ)将抽速控制装置真空密封安装于真空泵前的待抽空管道截面内；

(ⅳ)当对待抽空部件抽空时，无需手动控制抽速，真空泵抽空能力可全开，待抽空部件压强符合抽空要求后，完成系统抽空。

(ⅴ)该抽空过程可保证压强每秒变化不超过ΔP＝3hPa，液体类物质装载效果全部保留，可有效保障系统整体设计效果。

本发明提供了一种真空抽空速度控制装置，自动控制抽速均匀稳定，提高操作精度；可直接对系统进行抽空，减少人工操作工作量；避免了手动操作失误，降低安全风险；抽速控制部件易于设计加工，且安装或替换操作简单；抽速控制部件结构简单，成本较低。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。