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一种小型研磨搅拌桶及提高小型研磨搅拌桶使用效率的方法

摘要

本发明公开了一种小型研磨搅拌桶,包括研磨捅,所述研磨捅顶部设置有供液槽,所述供液槽的液体出口连接至研磨捅内;所述研磨捅内还设置有进水管路;所述研磨捅内还设置有搅拌桨,所述搅拌桨的搅拌叶尺寸半径长为研磨捅内半径的0.5‑0.8倍;所述搅拌桨通过可调节搅拌速度的减速电机带动旋转;工作原理是通过加大研磨桶内的搅拌桨,使之作用范围更大,同时使用减速电机降低搅拌桨搅拌速度避免研磨液飞溅,保持研磨液不沉淀;可以提高研磨桶搅拌效率,避免研磨液不均匀带来的机械伤不良。

著录项

  • 公开/公告号CN112742249A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-05-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海中欣晶圆半导体科技有限公司;

    申请/专利号CN202110008161.5

  • 发明设计人 赵剑锋;贺贤汉;王琪琳;

    申请日2021-01-05

  • 分类号B01F7/18(20060101);B01F15/00(20060101);

  • 代理机构31280 上海申浩律师事务所;

  • 代理人赵建敏

  • 地址 200444 上海市宝山区山连路181号1幢

  • 入库时间 2023-06-19 10:52:42

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-10-18

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B01F 7/18 专利申请号:2021100081615 申请公布日:20210504

    发明专利申请公布后的驳回

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