掩模板及制备方法、精细金属掩模板、掩模装置及使用方法

摘要

一种掩模板(500)及制备方法、精细金属掩模板、掩模装置及使用方法，该掩模板包括：至少一个开口区(510)和围绕且限定至少一个开口区(510)的遮挡部。遮挡部包括主体部分(530)和至少一个凸出部(540)，在至少一个开口区(510)的每个开口区(510)内，凸出部(540)在主体部分(530)的面对开口区(510)的一侧向开口区(510)伸出；主体部分(530)包括位于凸出部(540)的与开口区(510)相反的一侧且延伸方向与凸出部(540)的延伸方向相同的边缘(51)，主体部分(530)的位于边缘(51)与凸出部(540)之间的部分和凸出部(540)中的至少之一包括减薄部分，减薄部分的厚度小于遮挡部的其他部分的厚度。上述结构的掩模板(500)，可以有效地改善凸出部(540)的应力分布情况，减弱或避免掩模板(500)在拉伸张网后凸出部(540)的下垂现象，使掩模板(500)的精度得到显著地提升。