一种慢化组件气体冷凝薄膜厚度分布测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种慢化组件气体冷凝薄膜厚度分布测量装置及方法，方法包括：(1)薄膜冷凝前，移动控制模块将基底表面成像至探测器上；(2)采集干涉图并使用移相算法获取整体基底相位分布和系统误差分布；(3)冷凝薄膜形成后，移动控制模块将探测器成像位置对准薄膜最高位置表面；(4)使用移相算法获取干涉图计算不同位置对应的相位信息，进一步得到冷凝薄膜区域包含多光束干涉影响的相位分布；(5)利用建模技术计算薄膜多光束干涉相位与测量光无多光束干涉情况下经过薄膜的理论相位的校正函数关系，并进一步计算校正测量相位；(6)计算得到薄膜厚度分布。利用本发明，可实现对慢化组件气体冷凝薄膜厚度的非接触、快速、高精度测量。