一种基于Faraday效应的光谱椭偏仪及测量方法

摘要

本发明公开了一种基于Faraday效应的光谱椭偏仪及测量方法，椭偏仪包括：包括：光源、第一偏振器、样品台、旋光模块、第二偏振器和探测器，所述光源、第一偏振器、样品台、第二偏振器和探测器沿光线传播途径依次排布设置；所述旋光模块包括柱状平光镜和电磁线圈，所述柱状平光镜位于所述电磁线圈内部中央，所述柱状平光镜的中轴、所述待测样品的反射光光轴和所述电磁线圈磁场方向一致，所述电磁线圈连接直流电源；测量方法基于上述椭偏仪。本发明结构精简，不包含机械运动部件，控制逻辑简单，具有测量精度高、速度快的优点。