一种提高离子注入机晶元机械传输效率的方法

摘要

本发明实施例公开了一种提高离子注入机晶圆机械传输的方法，通过调度模块提高离子注入机晶圆机械传输效率的方法，包括调度模块、机械手传输模块、运动模块、异常处理模块，该方法通过调度模块来控制机械手传输模块、运动模块，在晶圆传输过程中，若机械手传输模块或运动模块发生故障，则会触发异常处理模块进行系统保护，在晶圆传输过程中对机械手传输动作及电机动作进行优化，节约不必要的时间消耗，提高了晶圆机械传输效率。