公开/公告号CN112624124A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-09
原文格式PDF
申请/专利权人 新沂市中大石英科技有限公司;
申请/专利号CN202011492398.7
发明设计人 嵇亚明;
申请日2020-12-16
分类号C01B33/12(20060101);B03B7/00(20060101);B03B1/00(20060101);B03D1/02(20060101);B03D1/01(20060101);B03D1/002(20060101);B03D101/04(20060101);B03D101/02(20060101);
代理机构32267 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙);
代理人刘纯
地址 221400 江苏省徐州市新沂市高流镇工业集中区
入库时间 2023-06-19 10:33:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-13
授权
发明专利权授予
机译: 高纯镧,高纯镧,以高纯镧为靶的溅射靶的制造方法以及以高纯镧为主要成分的金属栅膜的制造方法
机译: 高纯镧,高纯镧,由高纯镧组成的溅射靶材和以高纯镧为主要成分的金属栅膜的制造方法
机译: 高纯镧,高纯镧,以高纯镧为靶的溅射靶的制造方法以及以高纯镧为主要成分的金属栅膜的制造方法