公开/公告号CN112604324A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-06
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申请/专利权人 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司;
申请/专利号CN202011447280.2
发明设计人 韦智强;
申请日2020-12-09
分类号B01D19/00(20060101);B01D19/02(20060101);F04B45/04(20060101);
代理机构44570 深圳紫藤知识产权代理有限公司;
代理人杨艇要
地址 518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
入库时间 2023-06-19 10:30:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-07
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B01D19/00 专利申请号:2020114472802 申请公布日:20210406
发明专利申请公布后的视为撤回
机译: 含光致抗蚀剂的显影剂浓度计算方法及浓度控制系统
机译: 含光致抗蚀剂的显影剂浓度计算方法及浓度控制系统
机译: 显影剂回收装置的浓度控制系统