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电阻温度计的传感器元件和用于传感器元件的基板

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摘要

提供了一种传感器元件和一种制造传感器元件的方法。用于电阻温度计的传感器元件的基板(4)包括第一层(1)，其中所述第一层(1)包括铝酸镧，其中所述第一层(1)的热膨胀系数大致等于铂的热膨胀系数。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-09-30

实质审查的生效 IPC(主分类):G01K 7/18 专利申请号:2020110590246 申请日:20200930

实质审查的生效

1. 电阻温度计的传感器元件和用于传感器元件的基板 [P] . 中国专利： CN112611472A . 2021-04-06
2. 一种用于交换偏置型磁电阻传感器元件的多层膜材料 [P] . 中国专利： CN101150171A . 2008-03-26
3. TEMPERATURE SENSOR ELEMENT AND RADIATION THERMOMETER USING THE SAME, METHOD FOR MANUFACTURING TEMPERATURE SENSOR ELEMENT, MULTILAYER THIN FILM THERMOPILE USING PHOTORESIST FILM, RADIATION THERMOMETER USING THE THERMOPILE, AND METHOD FOR MANUFACTURING MULTILAYER THIN FILM THERMOPILE [P] . 日本专利： JP2015227880A . 2015-12-17

机译：使用相同的温度传感器元件和辐射温度计，用于制造温度传感器元件的方法，使用光致抗蚀剂膜的多层薄膜热敏电阻，使用热敏电阻的辐射温度计，以及用于制造多层薄膜的方法
4. SENSOR ELEMENT OF A RESISTANCE THERMOMETER AND SUBSTRATE FOR A SENSOR ELEMENT [P] . EP3800453A1 . 2021-04-07

机译：用于传感器元件的电阻温度计和基板的传感器元件
5. Sensor Element of a Resistance Thermometer and Substrate for a Sensor Element [P] . US2021102848A1 . 2021-04-08

机译：用于传感器元件的电阻温度计和基板的传感器元件